[发明专利]用于光子器件的透明基材无效

专利信息
申请号: 201080008687.3 申请日: 2010-02-19
公开(公告)号: CN102326274A 公开(公告)日: 2012-01-18
发明(设计)人: B·多莫克;P·罗奎尼;D·德克鲁普特 申请(专利权)人: 旭硝子欧洲玻璃公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/10;C03C17/36
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 杨勇
地址: 比利时*** 国省代码: 比利时;BE
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摘要: 用于光子器件的透明基材(1),该基材包含载体(10)和电极(11),所述电极(11)包含叠层结构,该叠层结构包含单一的金属导电层(112)和至少一个涂层(110),所述涂层具有改善通过所述电极的光透射的性能,所述涂层(110)具有至少大于3nm并且至多小于或等于200nm的几何厚度,所述涂层(110)包含至少一个改善光透射的层(1101)并位于金属导电层(112)和载体(10)之间,所述电极(11)沉积于所述载体上,其中具有改善光透射的性能的涂层(110)的光学厚度T01和金属导电层(112)的几何厚度TME由以下关系关联:TME=TME_0+B*sin(П*TD1/TD1_0)/n3载体,其中TME_0、B和TD1_0为常数,TME_0具有在10.0至25.0nm范围内的值,B具有在10.0至16.5范围内的值,并且TD1_0具有在23.9*nD1nm至28.3*nD1nm范围内的值,nD1表示改善光透射的涂层在550nm的波长下的折射率,n载体表示载体在550nm的波长下的折射率。
搜索关键词: 用于 光子 器件 透明 基材
【主权项】:
用于光子器件的透明基材(1),该基材包含载体(10)和电极(11),所述电极(11)包含叠层结构,该叠层结构包含单一的金属导电层(112)和至少一个涂层(110),所述涂层具有改善通过所述电极的光透射的性能,所述涂层(110)具有至少大于3nm并且至多小于或等于200nm的几何厚度,所述涂层(110)包含至少一个改善光透射的层(1101)并位于金属导电层(112)和载体(10)之间,所述电极(11)沉积于所述载体上,其特征在于具有改善光透射的性能的涂层(110)的光学厚度TD1和金属导电层(112)的几何厚度TME由以下关系关联:TME=TME_0+B*sin(∏*TD1/TD1_0)/n3载体其中TME_0、B和TD1_0为常数,TME_0具有在10.0至25.0nm范围内的值,B具有在10.0至16.5范围内的值,并且TD1_0具有在23.9*nD1nm至28.3*nD1nm范围内的值,nD1表示改善光透射的涂层在550nm的波长下的折射率,n载体表示载体在550nm的波长下的折射率。
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