[发明专利]微机电传感器有效
| 申请号： | 201080009206.0 | 申请日： | 2010-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN102334009A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 伏尔克·坎普 | 申请（专利权）人： | 感应动力股份公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫 |
| 地址： | 奥地利格拉茨-*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x-y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱。本发明的微机电传感器（MEMS）（1）的特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 | ||
【主权项】：
一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x‑y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱，其特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。
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