[发明专利]工件的薄膜加工方法及薄膜加工装置无效
| 申请号： | 201080010793.5 | 申请日： | 2010-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102341211A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 荒井邦夫;金谷保彦;石井和久;本田宽 | 申请（专利权）人： | 日立VIA机械株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/10;B23K26/12;B23K26/14;B23K26/16;B23K26/42;H01L31/04;B23K101/40;B65G49/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 田*;杨楷 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 使激光的照射位置保持固定，并提高加工部分的品质。本发明提供一种工件(101)的薄膜加工装置，该工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，具有：工件下表面支承机构(4)，利用压缩空气在上下方向支承工件(101)；夹持装置(6)，跟踪工件(101)的上下方向的移动而夹持该工件；以及加工头部(A4)，用激光对薄膜进行加工，加工头部(A4)从工件(101)的背面一侧对工件(101)照射激光来对工件(101)的表面一侧的薄膜进行加工，并且，具有喷出致冷剂的喷嘴，加工时，利用喷嘴，从由加工头部(A4)出射的激光入射到薄膜的位置上的薄膜(表面)一侧喷出致冷剂，同时对薄膜进行激光加工。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 薄膜 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种工件的薄膜加工方法，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，利用压缩空气在上下方向支承所述工件，同时在用夹持装置跟踪所述工件的上下方向的移动而夹持工件的状态下，从所述工件的背面一侧照射激光来对所述表面一侧的薄膜进行加工。
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