[发明专利]具备末端执行器的机器人及其运行方法有效
| 申请号： | 201080011613.5 | 申请日： | 2010-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN102349144A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 桥本康彦;吉田哲也 | 申请（专利权）人： | 川崎重工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B25J15/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;杨楷 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑多个托板部件，与多个托板部件一体地被机器人驱动；以及托板驱动单元，使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变托板间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 末端 执行 机器人 及其 运行 方法 | ||
【主权项】：
一种末端执行器，安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变上述托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑上述多个托板部件，与上述多个托板部件一体地被上述机器人驱动；托板驱动单元，使上述多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变上述托板间隔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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