[发明专利]具有柔性膜和改进型电致动装置的MEMS结构无效
| 申请号： | 201080012592.9 | 申请日： | 2010-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102362330A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | K·塞古尼;N·罗尔菲林 | 申请（专利权）人： | 德尔福芒斯公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 法国阿*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 柔性 改进型 电致动 装置 mems 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(6a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态，并且其中电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。
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