[发明专利]观察设备

摘要

提供了一种用于使得高分辨率图像的观察成为可能的观察设备。观察设备(100)包括：样品保持器(8)，用于保持样品(P)；刀片(7)，用于切削样品(P)并相继形成新的横截面；光学系统(3)，其具有第一物镜(11)和第二物镜(12)；以及电子摄影机(2)，用于捕捉样品(P)的横截面的图像。主控制器(16)允许电子摄影机(2)使用第一物镜(11)捕捉与横截面的一部分相对应的局部图像。主控制器移动XY平台，从而改变样品(P)和光学系统(3)在XY平面上的相对位置，并且获取多个局部图像。图像处理单元针对每个横截面产生关于通过对局部图像进行合成而形成的合成图像的数据，并且将图像显示在显示单元上。这样一来，用户就可以观察高分辨率图像。

主权项

一种观察设备，包括：保持单元，用于保持样品或包括所述样品的固体；切削单元，用于切削保持的所述样品或固体并随后形成新的横截面；图像捕捉机构，用于捕捉局部图像，所述局部图像是小于所述横截面的图像捕捉范围之内的图像，并且是包括所述横截面的一部分的图像；扫描机构，用于沿着所述横截面扫描所述图像捕捉范围；以及控制装置，用于驱动所述扫描机构并且通过所述图像捕捉机构针对每个图像捕捉范围捕捉所述局部图像，从而针对每个横截面生成所述横截面的合成图像的信息，所述合成图像是通过对多个局部图像进行合成而获得的图像。