[发明专利]微波等离子体处理装置无效
| 申请号： | 201080013280.X | 申请日： | 2010-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102362557A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 石桥清隆 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/31;C23C16/511 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本，*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够防止因电介质窗的弯曲等而产生缝隙的微波等离子体处理装置。使微波等离子体处理装置的电介质窗(12)与电介质板(22)之间为1～600Torr(1.3332×102～7.9993×104Pa)的范围的负压。因为能够将电介质板(22)按压于电介质窗(12)，使电介质板(22)与电介质窗(12)的弯曲一致地弯曲，所以能够防止电介质板(22)与缝隙板(23)之间或缝隙板(23)与电介质窗(12)之间产生间隙。因为大气压不直接作用于电介质窗(12)，所以还减少电介质窗(12)的弯曲。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种微波等离子体处理装置，其特征在于，包括：顶壁部由电介质窗划定的处理容器；对所述处理容器进行减压的气体排气系统；向所述处理容器供给等离子体气体的等离子体气体供给部；和载置在所述处理容器的所述电介质窗上，激励所述处理容器内的等离子体气体的微波天线，所述微波天线包括：在水平方向上传播微波并且对微波的波长进行压缩的电介质板；和设置在所述电介质板与所述电介质窗之间，具有使微波透过的缝隙的缝隙板，使所述电介质窗与所述电介质板之间为1～600Torr(1.3332×102～7.9993×104Pa)的范围的负压。
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