[发明专利]新电介质氧化膜及其制造方法有效
| 申请号： | 201080013309.4 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102362315A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 马克·菲利普斯;特拉维斯·托马斯;所罗·弗格森 | 申请（专利权）人： | SBA材料有限公司 |
| 主分类号： | H01B3/10 | 分类号： | H01B3/10;C01B13/18;C01G1/02;C01G23/08;C03C3/108 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过从金属氧化物前体、溶剂和环氧化物的混合物生产溶胶以及由该溶胶制备金属氧化物材料来制备电介质氧化物材料。在各种变型中，该混合物还可以包括共溶剂、一种或多种其他金属氧化物前体、水、或玻璃形成氧化物的前体或其任意组合。所制备的电介质氧化物材料可以是具有高K值、低漏电以及低介电损耗角正切值的薄膜的形式。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 氧化 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造金属氧化物材料的方法，包括：a)从包括环氧化物、金属氧化物前体以及溶剂的混合物中产生溶胶；以及b)由所述溶胶制备金属氧化物材料。
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