[发明专利]用于干涉式调制器的低电压驱动器方案

摘要

一种驱动例如干涉式调制器的机电装置的方法包括沿着共同线施加电压以释放沿着所述共同线的所述机电装置，接着沿着所述共同线施加寻址电压以基于沿着区段线施加的电压而致动沿着所述共同线的选定机电装置。可在释放电压与寻址电压的施加之间沿着共同线施加保持电压，且所述区段电压可经选择为足够小以使得所述区段电压将不影响沿着未被写入的其它共同线的机电装置的状态。

主权项

一种驱动机电装置阵列的方法，所述方法包含：对所述阵列内的机电装置执行致动操作，其中对所述机电装置执行的每一致动操作包含：在所述机电装置上施加释放电压，其中所述释放电压保持处于所述机电装置的正释放电压与所述机电装置的负释放电压之间；及在所述机电装置上施加寻址电压，其中所述寻址电压大于所述机电装置的正致动电压或小于所述机电装置的负致动电压。