[发明专利]一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器有效
| 申请号： | 201080014830.X | 申请日： | 2010-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102378895A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 亚历桑德鲁·罗基 | 申请（专利权）人： | 感应动力股份公司 |
| 主分类号： | G01C19/5677 | 分类号： | G01C19/5677;G01P15/18 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫 |
| 地址： | 奥地利格拉茨-*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电传感器和一种用来检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其涉及借助微机电传感器（1）检测相互垂直的空间三轴X,Y和Z方向中的两个方向，其中微机电传感器包括移动安装在基板（2）上的至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5），至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动，当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离，该加速度频率和旋转速度频率是不同的。微机电传感器的驱动模块和感应模块通过至少一个固定部（3）固定安装在基板上。在驱动模式中，当驱动模块相对于至少一个固定部振动时，在驱动模块和感应模块之间相对于至少一个固定部产生一种不平衡，感应元件检测驱动模块和感应模块的偏离，要取决于以加速度频率和/或旋转速度产生的扭矩和科里奥利力（Coriolisforce）。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 加速度 旋转 速度 方法 微机 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其是借助微机电传感器（1）检测互相垂直的空间三轴X，Y和Z方向中的两个方向，其包括：至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5）移动安装在基板（2）上，并且至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动；当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器（1）的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离；该加速度频率和旋转速度频率是不同的。
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