[发明专利]用于薄硅棒的夹持和接触装置无效
| 申请号： | 201080015725.8 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102387990A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | F·斯塔布汉;M·雷克 | 申请（专利权）人： | 森托塞姆硅技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱立鸣 |
| 地址： | 德国布*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明披露了一种用于将薄硅棒安装在硅沉积反应器中并且与薄硅棒进行电接触的夹持和接触装置，该夹持和接触装置具有用于接纳薄硅棒的一端的棒保持件。该棒保持件包括围绕用于薄硅棒的接纳空间而设置的至少三个接触元件。每个接触元件形成面朝接纳空间而用于与薄硅棒进行电气和机械接触的接触面，其中相邻接触元件的接触面隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄硅棒 夹持 接触 装置 | ||
【主权项】：
用于将薄硅棒安装在硅沉积反应器中并且与所述薄硅棒进行电接触的夹持和接触装置，所述夹持和接触装置具有用于接纳所述薄硅棒的一端的棒保持件(1、6、16)，其特征在于，所述棒保持件(1、6、16)包括围绕用于所述薄硅棒(2、3、13)的接纳空间(30)设置的至少三个接触元件(4、5、25)，且每个接触元件形成面朝所述接纳空间的接触面(28)，用以电气地且机械地与所述薄硅棒(2、3、13)接触，其中相邻接触元件(4、5、25)的接触面(28)隔开。
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