[发明专利]固体摄像元件及其制造方法、放射线摄像装置及其制造方法、以及固体摄像元件的检查方法

摘要

一个实施方式的固体摄像元件所具备的多个信号输出部分别具有：输入端子电极组，包含分别输入复位信号、保持信号、水平起始信号及水平时钟信号的端子电极；及输出端子电极，提供输出信号。另外，固体摄像元件具备有遍及多个信号输出部而配设的共同配线，复位信号用的端子电极、保持信号用的端子电极通过对应的开关与对应的共同配线连接。

主权项

一种固体摄像元件，其特征在于，具备：受光部，各自包含光电二极管的M×N个像素二维排列成M行N列而形成，其中，M、N为2以上的整数；多个信号输出部，分别与各自包含2个以上的列且所述N列被分割而成的多个列组对应而设置；及垂直移位寄存器，按各行控制来自所述像素的电荷输出，所述多个信号输出部分别具有：2个以上的积分电路，分别对应于各列组中所含的所述2个以上列而设置，将从各列中所含的所述像素输出的电荷存储并转换为电压信号；2个以上的保持电路，连接于所述2个以上的积分电路各自的输出端；水平移位寄存器，从所述2个以上的保持电路依次输出电压信号；输入端子电极组，包含多个端子电极，所述多个端子电极分别输入进行所述积分电路的复位的复位信号、控制向所述保持电路输入电压信号的保持信号、开始所述水平移位寄存器的动作的水平起始信号、规定所述水平移位寄存器的时钟的水平时钟信号、开始所述垂直移位寄存器的动作的垂直起始信号及规定所述垂直移位寄存器的时钟的垂直时钟信号；及输出端子电极，提供来自所述保持电路的输出信号，遍及多个信号输出部而分别配设有用于向各信号输出部的所述积分电路提供所述复位信号的复位用共同配线、用于向各信号输出部的所述保持电路提供所述保持信号的保持用共同配线、用于向所述垂直移位寄存器提供所述垂直起始信号的垂直起始用共同配线及用于向所述垂直移位寄存器提供所述垂直时钟信号的垂直时钟用共同配线，各信号输出部的所述复位信号用的端子电极、所述保持信号用的端子电极、所述垂直起始信号用的端子电极及所述垂直时钟信号用的端子电极分别通过开关而分别连接于所述复位用共同配线、所述保持用共同配线、所述垂直起始用共同配线及所述垂直时钟用共同配线，各信号输出部进一步具有输入用于控制所述开关的连接/非连接的开关控制信号的控制端子电极。