[发明专利]电子显微镜中的光学探测有效
| 申请号： | 201080016482.X | 申请日： | 2010-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102405107A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 安德雷·达尼洛夫;汉肯·奥林;乔汉·安格奈特 | 申请（专利权）人： | 纳米工厂仪器有限公司 |
| 主分类号： | B01J37/20 | 分类号： | B01J37/20;B25J7/00;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 瑞典哥*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学布置，特别是一种用于电子显微术应用的光学布置。这种布置被使用在对样品进行特性分析，在这种特性分析中，对样品的电子显微术测量和使用一个光学设置和/或使用一个用来探测光源的操控装置或一个扫描探头装置进行的测量同时进行。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 中的 光学 探测 | ||
【主权项】：
一个电子显微镜样品基座(601)包括：一个指定成像区域(205)，被设置成将样品(203)放置在电子显微镜的一个电子光束中进行结构特性分析；和一个光源(703，801，901，105，107，113，117)，被设置成将光引导至样品(203)上进行光学特性分析，其中结构特性分析和光学特性分析同时进行。
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