[发明专利]等离子表面处理装置及方法

摘要

本发明涉及表面处理方法及装置，更详细地讲，涉及利用等离子体离子处理导电性对象物的表面的方法及装置。本发明的目的是提供一种利用等离子体离子能够处理如金属板材或线材那样的连续供给的对象物的表面的处理装置及方法。根据本发明，提供如下等离子表面处理装置。该装置利用等离子处理导电性对象物的被处理部表面，其特征是，包括：连接装置，与所述对象物的被处理部电连接以便对所述对象物的被处理部施加负的脉冲电压；脉冲电压发生装置，与所述连接装置电连接；以及磁芯(magnetic core)，配置在所述对象物的被处理部的边界周围，阻断因施加到所述对象物的被处理部的负的脉冲电压而流经所述对象物的被处理部的电流脱出所述对象物的被处理部的边界流动。根据本发明的等离子表面处理装置及方法利用负的高电压脉冲和磁芯可限定电压所施加的区域。因此，可限定等离子表面处理部位。

主权项

一种等离子表面处理装置，利用等离子处理导电性对象物的被处理部表面，其特征在于，包括：连接装置，与所述对象物的被处理部电连接以便对所述对象物的被处理部施加负的脉冲电压；脉冲电压发生装置，与所述连接装置电连接；以及磁芯(magnetic core)，配置在所述对象物的被处理部的边界周围，阻断因施加到所述对象物的被处理部的负的脉冲电压而流经所述对象物的被处理部的电流脱出所述对象物的被处理部的边界流动。