[发明专利]光刻投影设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201080017184.2 | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN102405560A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | J·戴门;J·范杜凡波第;H·范豪特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01R13/03 | 分类号： | H01R13/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种电连接器，适于例如在低压强环境中连接高电压承载电缆，电连接器包括：具有导电表面的壳体和多个电缆插入部分，每一个电缆插入部分包括：导电体，配置用以连接至电缆；和绝缘套管，围绕所述导电体，其中所述壳体围绕所述多个电缆插入部分。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影设备 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电连接器，包括：(a)壳体，具有导电表面；和(b)多个电缆插入部分，每一个电缆插入部分包括：(i)导电体，配置用以连接至电缆；和(ii)绝缘套管，围绕所述导电体；其中所述壳体围绕所述多个电缆插入部分。
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