[发明专利]感光性树脂层压体

摘要

本发明的目的在于提供一种高灵敏度且保持时间所产生的灵敏度降低(即灵敏度变化)少、即保存稳定性良好的感光性树脂层压体。另外，本发明的目的还在于提供一种抗蚀图案的形成方法，该方法包括以下步骤：使用该感光性树脂层压体在基板上形成感光性树脂层，并对该感光性树脂层进行曝光和显影。本发明提供一种感光性树脂层压体，该层压体至少包含支撑体薄膜、由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层和保护薄膜，该保护薄膜含有具有下述通式(I)(式中，R₁和R₂分别独立地表示氢或碳原子数1～6的烷基)。表示的结构的抗氧化剂，该抗氧化剂的苯酚当量为3.1×10^-3以下，该保护薄膜中的该抗氧化剂的含量为多于1ppm且3000ppm以下。

主权项

1.一种感光性树脂层压体，该层压体至少包含支撑体薄膜、由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层和保护薄膜，该保护薄膜含有具有下述通式(I)表示的结构的抗氧化剂，式中，R₁和R₂分别独立地表示氢或碳原子数1～6的烷基，该抗氧化剂的苯酚当量为3.1×10^-3以下，该保护薄膜中的该抗氧化剂的含量为多于1ppm且3000ppm以下。