[发明专利]自动聚焦方法和自动聚焦设备有效
| 申请号： | 201080017649.4 | 申请日： | 2010-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102405431A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | P·辛;S·亨斯勒 | 申请（专利权）人： | 美国樱花检验仪器株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/24 | 分类号： | G02B21/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴立明;王小衡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是基于一种自动聚焦方法，其中来自光源(12)的光被聚焦在样品(6)中的测量光焦(52)处并且从该处被反射，并且反射光在两条光径(48，50)中被引导穿过光学系统(22)到达至少两个检测器元件(72，74)上。为了实现在样品上的快速精确的自动聚焦，提出在不同程度地反射光的样品(6)的各层中移动测量光焦(52)，并且检测器元件(72，74)被设置成在这种情况下使得由各个检测器元件(72，74)登记的辐射属性是不同的，并且按照与所述分布相关的方式设定聚焦位置。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 聚焦 方法 设备 | ||
【主权项】：
自动聚焦方法，其中，来自光源(12)的光被聚焦在样品(6)中的测量光焦(52)处并且从该处被反射，反射光在两条光径(48，50)中被引导穿过光学系统(22)到达至少两个检测器元件(72，74)上，其特征在于，在不同程度地反射光的样品(6)的各层中移动测量光焦(52)，并且检测器元件(72，74)被设置成在这种情况下使得由各个检测器元件登记(72，74)的辐射属性分布彼此不同，并且按照与所述分布相关的方式设定聚焦位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美国樱花检验仪器株式会社，未经美国樱花检验仪器株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080017649.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属复合板真空轧制法的组坯
- 下一篇：一种可以伸缩的儿童连体衣
