[发明专利]化学机械抛光用浆料有效
| 申请号： | 201080017681.2 | 申请日： | 2010-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN102414293A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 崔银美;申东穆;曹升范 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;吴晓萍 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于化学机械抛光的浆料，该浆料包括一种研磨剂；一种氧化剂；一种有机酸；以及一种包含聚烯烃-聚环氧烷共聚物的聚合物添加剂，其中所述聚烯烃-聚环氧烷共聚物包括一个聚烯烃重复单元和两个或更多个聚环氧烷重复单元，并且至少一个聚环氧烷重复单元是枝化的。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 浆料 | ||
【主权项】：
一种用于化学机械抛光的浆料，其包括一种研磨剂；一种氧化剂；一种有机酸；以及一种包含聚烯烃‑聚环氧烷共聚物的聚合物添加剂，其中所述聚烯烃‑聚环氧烷共聚物包括一个聚烯烃重复单元和两个或更多个聚环氧烷重复单元，并且至少一个聚环氧烷重复单元是枝化的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社LG化学，未经株式会社LG化学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080017681.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：翻转变位机
- 下一篇：带法兰的高强度钢基铜合金轴套
