[发明专利]高功率、高能量且大面积的能量存储器件

摘要

描述了一种容易制造、高功率、高能量、大面积的能量存储器件。所述能量存储器件使用与大面积处理工具兼容的工艺，所述大面积处理工具诸如为大面积涂覆系统和与柔性薄膜基板兼容的线性处理系统。所述能量存储器件可包括电池、超电容和超级电容。一种能量存储器件包括形成在单个基板上的多个薄膜电池，所述多个电池串联电连接，多个电池中的每一个都包括：在基板表面上的集电极；在集电极上的第一电极；在第一电极上方的第二电极；和在第一电极和第二电极之间的电解质层。而且，一种能量存储器件可包括形成在单个基板上的多个薄膜电池，所述多个电池电连接成网络，所述网络包括多个电池中单个电池之间的并联和串联电连接。

主权项

一种制造能量存储器件的方法，所述能量存储器件包括集成在基板上的多个电池，所述多个电池串联电连接，所述方法包括：提供所述基板；在所述基板上沉积与薄膜能量存储器件相对应的层，所述层按沉积顺序包括集电极、第一电极、电解质和第二电极；图案化所述集电极以形成多个集电极带；图案化所述第一电极以形成多个第一电极带，所述第一电极带中的每一个都位于所述多个集电极带中相对应一个的顶部上；和图案化所述第二电极以形成多个第二电极带，所述多个第二电极带中的每一个都与所述多个第一电极带中的一个相对应；其中所述多个电连接的电池中的每一个都包括所述多个集电极带中的一个，所述多个第一电极带中的所述相对应一个，所述多个第二电极带中的所述相对应一个和所述电解质的层的相对应部分。