[发明专利]确定基底完整性的非破坏性信号传播系统和方法

摘要

在本发明描述的各种示例性实施方式中，涉及检测基底中一个或一个以上缺陷的非破坏性信号传播的系统和相关方法。该系统能装配到诸如基底处理机构之类的半导体加工工具中。该系统包括变换器，该变换器配置为将一个或一个以上频率从电信号转换成至少一机械脉冲。该机械脉冲通过基底处理机构与该基底耦合。多个传感器位于变换器的远端并且配置为与该基底声学地或机械地耦合。进一步配置该多个远端传感器以检测机械脉冲和该脉冲的任何畸变。信号分析仪与多个远端传感器耦合，以便将所检测的脉冲和脉冲的任何畸变与基线响应相比较。

主权项

检测基底中一个或一个以上缺陷的非破坏性信号传播系统，该系统包括：变换器，其被配置为将一个或一个以上频率从电信号转换成至少一机械脉冲，该至少一机械脉冲被配置为与该基底耦合；多个传感器，该多个传感器位于变换器的远端并且被配置为与该基底耦合。该多个远端传感器进一步配置为检测该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变；以及信号分析仪，其与该多个远端传感器耦合，以便将所检测的该至少一机械脉冲和该至少一机械脉冲的任何畸变与基线响应相比较。