[发明专利]有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶和其制造方法有效
| 申请号： | 201080020030.9 | 申请日： | 2010-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN102421931A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 小见山昌三;伊藤郁夫 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 孙秀武;郭文洁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶，其是具有含有In：0.1～1.5质量%，剩余部分由Ag和不可避免的杂质构成的成分组成的银合金靶，其特征在于，该合金的晶粒的平均粒径为150～400μm，上述晶粒的粒径偏差为平均粒径的20%以下。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 元件 反射 电极 形成 合金 制造 方法 | ||
【主权项】：
有机EL元件的反射电极膜形成用银合金靶，其特征在于，具有含有In：0.1～1.5质量%，剩余部分由Ag和不可避免的杂质构成的成分组成，该合金的晶粒的平均粒径为150～400μm，上述晶粒的粒径偏差为平均粒径的20%以下。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱综合材料株式会社，未经三菱综合材料株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080020030.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有对通信的部分支持的接入控制
- 下一篇：一种营养保健饮料及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
