[发明专利]遮蔽的闸阀有效
| 申请号： | 201080020254.X | 申请日： | 2010-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN102422064A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 北村真;深田充利 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 李晓冬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供闸阀及其使用方法的实施例。在一些实施例中，一种用于过程腔室的闸阀包含：主体，具有开口，该开口设置成从该主体的第一表面穿过该主体到该主体的相对第二表面；凹穴，从该开口的侧壁延伸到该主体内；闸，可移动地设置在该凹穴内，而介于密封该开口的关闭位置与显露该开口且将该闸完全地设置在该凹穴内的开启位置之间；及遮蔽件，用以在该闸处于该开启位置时可选择性地密封该凹穴。在一些实施例中，一或多个加热器可以连接到该主体或该遮蔽件的至少一者。 | ||
| 搜索关键词： | 遮蔽 闸阀 | ||
【主权项】：
一种用于过程腔室的闸阀，包含：主体，具有开口，所述开口设置成从所述主体的第一表面穿过所述主体到所述主体的相对第二表面；凹穴，从所述开口的侧壁延伸到所述主体内；闸，可移动地设置在所述凹穴内，而介于密封所述开口的关闭位置与显露所述开口且将所述闸完全地设置在所述凹穴内的开启位置之间；及遮蔽件，用以在所述闸处于所述开启位置时可选择性地密封所述凹穴。
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