[发明专利]使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列对对象进行显微检查有效
| 申请号： | 201080020680.3 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102422198A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 克莉丝汀娜·汤玛士;托斯顿·西弗斯;亚利山大·特森 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司公司 |
| 主分类号： | G02B21/34 | 分类号： | G02B21/34;H01J37/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了使用光学显微镜(10)和粒子束显微镜(12)的组合对对象(8)进行显微检查，使用了一种显微镜载物片系统(1)，该系统包括：导电支架(2)，其中至少一个窗口(3、17、18)配置于支架(2)中，以及其中支架(2)优选地具有用于光学显微镜(10)的标准玻璃显微镜载物片的尺度；显微镜载物片元件(7、19)，其设计成承载用于显微检查的对象(8)并且设计成使得该元件可以放置在窗口(3、17、18)上方；以及紧固装置(5、6、22、25)，其设计成将显微镜载物片元件(7、19)固定在窗口(3、17、18)上方。借助所述显微镜载物片系统(1)，可以使用分开的显微镜来分析对象(8)，而不必重定位对象。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 光学 显微镜 粒子束 序列 对象 进行 显微 检查 | ||
【主权项】：
一种使用光学显微镜(10)和粒子束显微镜(12)的组合对对象(8)进行显微检查的载物片系统，其特征在于，该系统(1)包括：导电支架(2)，其中至少一个窗口(3；17、18)形成于该支架(2)中并且其中该支架(2)优选地具有用于光学显微镜(10)的标准玻璃载物片的尺度，载物片元件(7；19)，其形成为承载用于显微检查的对象(8)并且形成为布置在该窗口(3；17、18)上方，以及紧固装置(5，6；22，25)，其形成为用于将该载物片元件(7；19)固定在该窗口(3；17、18)上方。
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