[发明专利]透明等离子体坩埚有效
| 申请号： | 201080020805.2 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102439691A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | A·S·尼特;B·普勒斯顿 | 申请（专利权）人： | 塞拉维申有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 为了在2450MHz下操作在TM010模式中，透明石英坩埚的直径为4.9cm，长度为2.1cm。密封的等离子体中空位于中心轴上，天线凹入型件位于中心轴的一端，但是偏离于坩埚的中心轴并靠近中心的中空。各种TE模式也是可以的。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 等离子体 坩埚 | ||
【主权项】：
一种透明等离子体坩埚，其尺寸被设为具有低阶横电微波模式特性或低阶横磁微波模式特性。
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