[发明专利]生产硅的反应器和方法无效
| 申请号： | 201080021288.0 | 申请日： | 2010-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102428027A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·菲尔特维特;沃纳·O·菲尔特维特 | 申请（专利权）人： | 戴纳泰克工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027;C01B33/029;C01B33/03;C01B33/031;C01B33/033;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 武晶晶;郑霞 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 挪威;NO |
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| 摘要： | 一种用于通过化学气相沉积来生产硅的反应器，该反应器包括：形成容器的反应器主体、载硅气体的至少一个入口、至少一个出口、以及作为反应器的一部分或可操作地布置到反应器的至少一个加热设备。该反应器是独特的，因为反应器的至少一个主要部分用硅制造，该部分暴露于载硅气体且该部分被加热以在所述部分上沉积硅。用于操作反应器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 反应器 方法 | ||
【主权项】：
一种用于通过化学气相沉积来生产硅的反应器，所述反应器包括形成容器的反应器主体、载硅气体的至少一个入口、至少一个出口、以及作为所述反应器的一部分或可操作地布置到所述反应器的至少一个加热设备，其特征在于，所述反应器的至少一个主要部分用硅制造，所述部分暴露于载硅气体且所述部分被加热以在所述部分上沉积硅。
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