[发明专利]MEMS装置的防腐和润滑

摘要

例如用于MEMS装置的系统和方法可以包括：具有接触部分的部件，所述接触部分在一侧上包括具有亲水官能团的层；以及形成在该层上的涂层。所述涂层可以包括适用于与所述层的亲水官能团相互作用的亲水官能团。所述涂层还可以包括与所述涂层的亲水官能团相反的疏水官能团。所述层可以结合到所述部件上，并且所述涂层可以结合到所述层上。所述涂层可以适用于在为蒸气形式的同时形成在所述层上，并且可以包括润滑剂。所述层可以为例如氧化铝的原子单层或多层，并且所述涂层可以包括氟化酸，例如全氟癸酸。

主权项

一种机械装置，其包括：具有接触部分的第一部件，所述接触部分在一侧上包括具有亲水官能团的层；以及形成于所述层上的涂层，该涂层包括适用于与所述层的亲水官能团相互作用的亲水官能团，并且所述涂层包括与所述涂层的亲水官能团相反的疏水官能团。