[发明专利]用于硅生长棒的容纳锥形件有效
申请号: | 201080021766.8 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN102428028A | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 托尔斯滕·科恩迈尔 | 申请(专利权)人: | KGT石墨科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;C23C16/44;C30B25/12 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 车文;樊卫民 |
地址: | 德国温*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种在用于积聚多晶硅的反应器中用于硅生长棒的容纳锥形件。本发明的任务在于提供一种用于硅生长棒的容纳锥形件,其中保证了所插入的硅生长棒的良好的接触并且实现了热量散发的明显减少。本发明以如下方式实现,即,容纳锥形件由旋转对称的基体(2)组成,基体具有可居中地在最高位置处插入到基体中的单件式的、用于容纳硅生长棒(1)的夹紧元件(3),其中,基体(2)呈锅盖状地为容纳联接销(4)而留有凹口,并且其中,基体的边缘(5)能够插入到在反应器底部中的电流馈引件中,其中,各部件:硅生长棒(1)、夹紧元件(3)、基体(2)和电流馈引件的容纳件以及联接销(4)能够以形状锁合和力锁合的方式彼此插接。 | ||
搜索关键词: | 用于 生长 容纳 锥形 | ||
【主权项】:
在用于积聚多晶硅的反应器中用于硅生长棒的容纳锥形件,所述容纳锥形件由石墨制成,其特征在于,所述容纳锥形件由旋转对称的基体(2)组成,所述基体具有能居中地在最高位置处插入到所述基体中的用于容纳所述硅生长棒(1)的单件式夹紧元件(3),其中,所述基体(2)呈锅盖状地为容纳联接销(4)而留有凹口,并且其中,所述基体的边缘(5)能够插入到所述反应器的底部中的电流馈引件中,其中,各部件:硅生长棒(1)、夹紧元件(3)、基体(2)和所述电流馈引件的容纳件以及联接销(4)能够以形状锁合和力锁合的方式彼此插接。
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