[发明专利]三维形貌检测方法有效
| 申请号： | 201080022149.X | 申请日： | 2010-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102428344A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 朴喜载;安祐正 | 申请（专利权）人： | SNU精度株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/25;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 | 代理人： | 王昭林 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征是包括：中心部确定步骤，获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部；图像获得步骤，在被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像；相位值确定步骤，在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线，并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为焊锡球中心部的相位值，在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为基板的相位值；及高度计算步骤，由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差，计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形貌 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种三维形貌检测方法，用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征在于，包括：中心部确定步骤，获得所述焊锡球的图像后确定所述焊锡球的中心部；图像获得步骤，在所述被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括所述基板上面和所述焊锡球的整合图像；相位值确定步骤，在所述整合图像中选定通过所述焊锡球中心部的虚拟直线即基准线，并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为焊锡球中心部的相位值，在位于所述基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为基板的相位值；及高度计算步骤，由所述焊锡球中心部的相位值和所述基板的相位值之间的差，计算从所述基板上面到所述焊锡球中心部的高度。
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