[发明专利]电感等离子体涂敷器

摘要

一种电感等离子体涂敷器包括铁磁电感耦合源(3，4)以及具有关于等离子体源对中的孔样式的电极(6)。这种等离子体涂敷器提供有效能量传输至等离子体。该等离子体涂敷器优选地使用用于制造电路的技术制造。该电极(6)和该铁磁电感耦合等离子体源的线圈(3)是形成在绝缘基底上的金属轨道部分。例如，使用印刷电路板技术来制造等离子体涂敷器。

主权项

一种电感等离子体涂敷器包括：‑支持元件，具有大致平板形状，适于形成部分真空容器壁的部分或适于被布置在真空容器壁上，所述支持元件具有意欲面向真空容器的内部容积定向的前表面、后表面以及可能的位于前表面和后表面之间的额外表面，所述表面彼此平行；‑至少一个铁磁体电感耦合等离子体源，其包括：‑至少一个导电线圈，包括一匝或多匝，具有平面螺旋设计，被布置在支持元件的表面上；‑开环铁磁芯，具有至少两个面向同一磁输出侧定向的末端面；以及‑用于将铁磁芯刚性地连接在与所述支持元件的前表面相对的支持元件上的装置，使铁磁芯的磁输出侧面向真空容器的内部容积定向，以及围绕磁通束的一匝或多匝线圈，该磁通束通过该铁磁芯的至少一个末端面流出；以及‑至少一个具有一孔样式的电极，孔关于线圈对中并且适于不抑制磁通束在真空容器的内部容积中延伸，所述电极进一步适于形成带有位于涂敷器外部的另一电极的电容器；其特征在于，该铁磁电感耦合等离子体源的线圈和该电极包括各自的被分布在支持元件表面上的金属轨道部分，使该电极的金属轨道部分比线圈的金属轨道部分更接近于真空容器的内部容积。