[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法有效
| 申请号： | 201080023335.5 | 申请日： | 2010-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102448872A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;W·朔克;J·穆霍;Z·莱什詹 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械构件，其具有至少通过弹簧(12)与保持装置(16)连接的可调元件；具有至少一个第一压阻传感器元件(76b至82b)的第一传感器装置(22)，其提供关于第一机械应力的第一传感器信号，其中，所述第一压阻传感器元件(76b至82b)设置在所述弹簧(12)和/或所述弹簧(12)的固定区域上或者中；和具有至少一个第二压阻传感器元件(96b至102b)的第二传感器装置(24)，其提供关于作第二机械应力的第二传感器信号，其中，所述第二压阻传感器元件(96b至102b)设置在所述弹簧(12)和/或所述弹簧(12)的固定区域上或者中。本发明还涉及一种用于微机械构件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机械构件，其具有保持装置(16)；可调元件(14)，所述可调元件至少通过一弹簧(12)与所述保持装置(16)连接；第一传感器装置(22)，所述第一传感器装置具有至少一个第一压阻传感器元件(34a，34b，34c，76b至82b，76c至82c)，其中，所述第一传感器装置(22)被设计用于提供关于作用到所述至少一个第一压阻传感器元件(34a，34b，34c，76b至82b，76c至82c)上的第一机械应力的第一传感器信号(U，R)，其中，所述第一压阻传感器元件(34a，34b，34c，76b至82b，76c至82c)设置在所述弹簧(12)上或者中、所述弹簧(12)的与所述保持装置(16)相邻的第一固定区域上或者中和/或所述弹簧(12)的与所述可调元件(14)相邻的第二固定区域上或者中；和第二传感器装置(24)，所述第二传感器装置具有至少一个第二压阻传感器元件(34a，34b，34c，96b至102b，96c至102c)，其中，所述第二传感器装置(24)被设计用于提供关于作用到所述至少一个第二压阻传感器元件(34a，34b，34c，96b至102b，96c至102c)上的第二机械应力的第二传感器信号(U，R)，其中，所述第二压阻传感器元件(34a，34b，34c，96b至102b，96c至102c)设置在所述弹簧(12)上或者中、所述弹簧(12)的所述第一固定区域上或者中和/或所述弹簧(12)的所述第二固定区域上或者中。
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