[发明专利]微机械可调法布里珀罗干涉仪、中间产品及其制造方法有效
| 申请号： | 201080023427.3 | 申请日： | 2010-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102449447A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 马尔蒂·布卢姆伯格 | 申请（专利权）人： | VTT技术研究中心 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;梁韬 |
| 地址： | 芬兰乌奥*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明涉及用微机械(MEMS)技术制造的可控法布里珀罗干涉仪。制造现有技术的干涉仪包括在蚀刻牺牲层(123)期间镜劣化的风险。根据本发明的方案，镜的至少一个层(103，105，114，116)由富硅氮化硅制成。在发明的法布里珀罗干涉仪中，可以避免或减少在镜层中使用氧化硅，从而降低了镜劣化的风险。还可以使用具有较高粗糙度的镜表面，从而降低了镜彼此粘着的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 可调 法布里珀罗 干涉仪 中间 产品 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电可调法布里珀罗干涉仪，包括：衬底(130)，第一镜结构(101～106)，在所述衬底上，第二可移动镜结构(113a～118)，其中所述第一和第二镜结构包括基本上平行的第一镜和第二镜，法布里珀罗腔(123)，在所述第一镜和第二镜之间，其中通过在设置所述第二镜结构之前在所述第一和第二镜结构之间设置牺牲层并且在设置所述第二镜结构之后去除所述牺牲层而形成所述腔，电极(106，113a，113b)，用于电控制所述镜之间的距离，其特征在于，至少一个镜具有富硅氮化硅的层(103，105，114，116)。
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