[发明专利]带有改进幅材传输系统的卷对卷沉积设备

摘要

一种在一个或更多通过其往前的衬底材料幅材上连续沉积半导体材料的系统，其包括具有多个幅材支撑组件的幅材传输系统。每个幅材支撑组件都包括基底，其具有枢转安装在其上的主支撑臂，以便可从第一位置移置到第二位置。该支撑包括第一偏压构件，其机械连接主支撑臂。第一偏压构件运行，从而向主支撑臂施加第一偏压力，以便将其从其第一位置移至其第二位置。该支撑包括摆动臂，其枢转安装于主支撑臂，以便可相对于主支撑臂从第一位置移置到第二位置。本系统进一步包括第二偏压构件，其机械连接摆动臂。第二偏压构件运行，从而向摆动臂施加第二偏压力，从而将其从其第一位置移至其第二位置。滚筒可转动地安装在摆动臂上。滚筒被配置成啮合幅材的一部分。幅材支撑组件运行，从而随着衬底材料幅材穿过沉积系统而在滚筒和移动的衬底材料幅材之间保持连续接触。

主权项

一种在衬底材料幅材上连续沉积半导体材料的卷对卷系统，其中在所述设备的运行时所述衬底材料幅材连续通过其前进，其中所述系统包括多个幅材支撑组件，所述幅材支撑组件随着所述幅材穿过所述系统而啮合并且引导所述幅材，每个幅材支撑组件都包含：基底；主支撑臂，其枢转安装在所述基底上以便可相对于所述主支撑臂从第一位置移动至第二位置；第一偏压构件，其机械连接所述主支撑臂，所述第一偏压构件可操作以向所述主支撑臂施加第一偏压力，以便将所述主支撑臂从其第一位置移至其第二位置；摆动臂，其枢转安装在所述主支撑臂上，以便可相对于所述主支撑臂从第一位置移动至第二位置；第二偏压构件，其机械连接所述摆动臂，所述第二偏压构件可操作以向所述摆动臂施加第二偏压力，以便将所述摆动臂从其第一位置移至其第二位置；以及幅材支撑滚筒，其由所述摆动臂可转动地支撑，所述滚筒经配置从而啮合所述幅材的一部分。