[发明专利]涂布设备和涂布方法

摘要

本发明涉及涂布设备，其包含至少一个用于接收基材的可抽真空的接收装置、至少一个可将至少一种气态前体导入接收装置中的气体供应装置以及至少一个具有可预先确定的纵向长度并利用至少一个所属的机械固定装置加以固定的可加热的活化元件，其中经由至少两个接触元件向活化元件供应电流，其中以相对于接收装置几乎不移动的方式固定接触元件，及以相对于接收装置可移动的方式设置活化元件。此外，本发明还涉及相应的涂布方法。

主权项

涂布设备(1)，其包含至少一个用于接收基材(30)的可抽真空的接收装置(10)、至少一个用于将至少一种气态前体导入接收装置(10)中的气体供应装置(20，21，22)以及至少一个具有可预先确定的纵向长度并利用至少一个所属的机械固定装置(44)加以固定的可加热的活化元件(40)，其特征在于，经由至少两个接触元件(43)向活化元件(40)供应电流，其中以相对于接收装置(10)几乎不移动的方式固定接触元件(43)，及以相对于接收装置可移动的方式设置活化元件(40)。