[发明专利]充电保护装置有效

专利信息
申请号: 201080025945.9 申请日: 2010-06-07
公开(公告)号: CN102804376A 公开(公告)日: 2012-11-28
发明(设计)人: J·周;D·吴;J·F·布勒 申请(专利权)人: 格罗方德半导体公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 英国开*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 浅沟槽隔离的绝缘体上覆硅(silicon-on-insulator;SOI)装置形成有经改善的充电保护。本发明的实施例包含作为充电保护装置的SOI薄膜二极管(411)与P+衬底接面。本发明的实施例亦包含自该SOI晶体管漏极(415)透过导电接点(451)、金属线(459)、第二导电接点(453)、与该晶体管(409)隔离的SOI二极管(411)、第三导电接点(455)、第二导线(461)、以及第四导电接点(457)至该SOI衬底的块体硅层(403)中经P+型掺杂的衬底接点(449)的导电路径。
搜索关键词: 充电 保护装置
【主权项】:
一种方法,包括:于块体硅衬底(403)上形成绝缘层(401);于该绝缘层(401)上形成主动硅层(405);于该主动硅层(405)上形成晶体管(409),该晶体管包含形成于该主动硅层(405)中的源极/漏极区域(413、415);于该主动硅层(405)上形成二极管(411),该二极管(411)包含两个主动区域(417、419);以及将该漏极区域(415)、主动二极管区域(417、419)、以及块体硅层(403)电性连接,以形成充电保护装置。
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