[发明专利]圆筒体的表面检查装置有效
| 申请号： | 201080027925.5 | 申请日： | 2010-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102460130A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 若竹克则;高桥洋恭 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;杨光军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明以圆筒体的表面检查装置为对象，所述圆筒体的表面检查装置具备配置于圆筒体W的上方的照明光源11、与照明光源11相对应地配置于圆筒体W的上方的分光器13和配置于所述分光器13的上方的表面状态识别单元2，从照明光源11照射的照明光L由分光器13反射而同轴落射到圆筒体表面，由该圆筒体表面反射的反射光Lr透过分光器13，由表面状态识别单元2识别。本装置从照明光源11从圆筒体W的轴心方向X的一端侧与轴心方向X平行地向另一端侧照射照明光L。本发明的装置能够仅检测条状凹凸部中构成缺陷的条状凹凸部。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 表面 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种圆筒体的表面检查装置，该圆筒体的表面检查装置具备配置于圆筒体的上方的照明光源、与所述照明光源相对应地配置于圆筒体的上方的分光器和配置于所述分光器的上方的表面状态识别单元，从所述照明光源照射的照明光由所述分光器反射而同轴落射到圆筒体表面，由该圆筒体表面反射的反射光透过所述分光器，由所述表面状态识别单元识别，其特征在于：从所述照明光源从圆筒体的轴心方向的一端侧与轴心方向平行地向另一端侧照射照明光。
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