[发明专利]用于由电绝缘材料形成的无电阻层的方法和装置无效

专利信息
申请号: 201080028048.3 申请日: 2010-04-26
公开(公告)号: CN102549766A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 沃尔夫.厄埃亭;保罗.安德里亚尼 申请(专利权)人: 沃尔夫.厄埃亭;保罗.安德里亚尼
主分类号: H01L31/042 分类号: H01L31/042
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 彭久云
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种提供载流基底的方法,该方法也为在该基底两侧同时形成的材料提供分别控制的膜特征,以便在该基底的一侧提供该材料的第一层,在其另一侧提供第二层,而该第一层比该第二层厚很多。该变薄层是由电绝缘材料形成的,但其被配置成对通过该层的电流不具有相当的电阻。
搜索关键词: 用于 绝缘材料 形成 电阻 方法 装置
【主权项】:
一种沉积方法。
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