[发明专利]阳极壁多分割型等离子发生装置及等离子处理装置有效
| 申请号： | 201080028939.9 | 申请日： | 2010-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102471869A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 椎名祐一;渡边岩 | 申请（专利权）人： | 日本磁性技术株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L21/31;H05H1/48 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种阳极壁多分割型等离子发生装置及使用该阳极壁多分割型等离子发生装置的等离子处理装置，该阳极壁多分割型等离子发生装置能够防止由扩散等离子在阳极内壁上附着、堆积而形成了的堆积物剥落而导致阴极与阳极间短路。在阴极(2)与阳极(3)之间发生了的等离子(P)从阴极(2)朝前方放出、扩散时，扩散物质(41)在电极筒体内壁上再结晶化而附着、堆积，作为碳薄片(40)剥落。由纵横的槽(37、38)将电极筒体内壁多分割成矩阵状。借助于多个突部(35)的堆积物分离作用，即使扩散等离子在阳极(3)上附着、堆积，堆积物也微细化，不产生大型乃至长形的堆积物。从小片的突部(39)剥落作为微细片的碳薄片(40)，不会发生堆积物剥落而跨在阴极(2)与阳极(3)上桥接的情形，能够防止两极间的短路现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 分割 等离子 发生 装置 处理 | ||
【主权项】：
一种等离子发生装置，将等离子构成物质的供给源作为阴极，在所述阴极的前方或周围设置筒状的阳极，在真空气氛下在所述阴极与所述阳极间之间进行真空电弧放电，从所述阴极表面发生等离子；其特征在于：在形成所述阳极的筒内壁设置多个凹凸，当从所述阴极向所述阳极侧放出了的所述等离子的一部分在所述凹凸上附着而堆积了时，所述堆积物作为微细片从所述阳极剥落。
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