[发明专利]探针卡

摘要

本发明提供一种探针卡，该探针卡具有空间变换器，所述空间变换器可有效地变化以对应于晶圆芯片结构的变化，且能够使空间变换器的可接受通道最大化。用于测试晶圆上的半导体芯片的探针卡包括：空间变换器本体，其中多个单元探针模块间隔配置；主电路板，电信号从外部测试设备施加至主电路板；加强板，其用于支撑主电路板，以使得单元探针模块对外部作用的反应更稳定；直立传导介质，其插入到设置在空间变换器本体中的穿透部分内；下表面电路板，其中当安装有挠性传导介质和直立传导介质时，直立传导介质电连接至单元探针模块；和相互连接构件，其用于将下表面电路板电连接至主电路板。

主权项

一种探针卡，包括空间变换器，其中，所述空间变换器包括：空间变换器本体，具有设置在上表面上的多个探针连接垫；下表面电路板，结合至所述空间变换器本体的下表面；和直立传导介质，其安装在所述下表面电路板上且插入到设在所述空间变换器本体中的穿透孔内。