[发明专利]使用束扫描以提高二维机械扫描注入系统的均匀性和生产率有效
| 申请号： | 201080030014.8 | 申请日： | 2010-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102576639A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 安迪·雷 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入系统(100)，该离子注入系统包括被构造成朝向端站引导离子束(170)的束线和扫描系统，该端站被构造成保持或支撑工件。所述扫描系统被构造成以二维方式使端站扫描通过离子束，该二维方式包括沿第一方向的第一扫描轴线(“快扫描”，142)和沿不同于第一方向的第二方向的第二扫描轴线(“慢扫描”144)。所述系统还包括补充扫描部件，所述补充扫描部件可操作地与所述扫描系统相关联，并且所述补充扫描部件被构造成执行离子束相对于端站沿具有第三方向的第三扫描轴线的扫描，所述第三方向不同于第一方向。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 扫描 提高 二维 机械扫描 注入 系统 均匀 生产率 | ||
【主权项】：
一种离子注入系统，包括：束线，所述束线被构造成朝向端站引导离子束，所述端站被构造成保持或支撑工件；扫描系统，所述扫描系统被构造成以二维方式使所述端站扫描通过所述离子束，所述端站被构造成保持或支撑所述工件，所述二维方式包括沿第一方向的第一扫描轴线和沿不同于所述第一方向的第二方向的第二扫描轴线；和补充扫描部件，所述补充扫描部件能够操作以与所述扫描系统相关联，并且所述补充扫描部件被构造成相对于所述端站沿具有第三方向的第三扫描轴线执行所述离子束的扫描，所述第三方向不同于所述第一方向。
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