[发明专利]高频加热装置以及高频加热方法

摘要

本发明的高频加热装置具有：高频电力产生部(120)；可变移相部(142a～142d)，使由高频电力产生部(120)所产生的高频电力的相位变化；以及控制部(110)，对第1～第4高频电力单元(140a～140d)以及高频电力产生部(120)设定频率，并且对可变移相部(142a～142d)设定移相量。第1～第4高频电力单元(140a～140d)的反向电力检测部，根据控制部(110)对高频电力产生部(120)设定的频率，分别检测反射电力与穿过电力，控制部(110)根据被检测出的反射电力及穿过电力的相位和振幅，决定加热被加热物时的高频电力产生部(120)的频率、以及各个可变移相部(142a～142d)的移相量。

主权项

一种高频加热装置，对被放置在加热室的被加热物进行加热，所述高频加热装置具有：至少一个高频电力产生部，产生被设定了频率的高频电力；可变移相部，使由所述高频电力产生部所产生的高频电力的相位变化；多个高频电力单元，每个高频电力单元分别具有辐射部以及反向电力检测部，所述辐射部向所述加热室辐射由所述可变移相部改变了相位的高频电力，所述反向电力检测部检测作为由所述辐射部所辐射的高频电力的一部分的、从所述加热室入射到所述辐射部的反向电力；以及控制部，对所述高频电力产生部设定频率，并且，对所述可变移相部设定移相量，所述反向电力检测部，根据由所述控制部对所述高频电力产生部设定的频率，检测反射波的振幅和相位以及穿过波的振幅和相位，所述反射波为一个所述高频电力单元的辐射部所辐射的高频电力的一部分反射后输入到该一个所述高频电力单元的辐射部的、因反射而形成的反向电力，所述穿过波为由其他的所述高频电力单元的辐射部所辐射的高频电力的一部分输入到所述一个高频电力单元的辐射部的反向电力，所述控制部，对所述高频电力产生部依次设定多个频率，按照设定的每个频率，使各个所述高频电力单元的所述反向电力检测部检测所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位，根据被检测出的多个所述反射波的振幅和相位以及所述穿过波的振幅和相位，决定加热被加热物时的、使所述高频电力产生部产生的高频电力的频率以及所述可变移相部的移相量，并对所述高频电力产生部以及所述可变移相部设定决定了的频率和移相量。