[发明专利]加工设备有效
| 申请号： | 201080030124.4 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102472986A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·奥普韦;克劳斯·云格尔 | 申请（专利权）人： | 克列奥股份公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨靖;车文 |
| 地址： | 瑞士阿*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 为了在板状物体的加工设备中，以如下方式对该加工设备进行改进，即：使板状物体相对于载物台的位置能得到精确确定，其中，所述加工设备具有曝光装置和载物台，所述载物台具有用于容纳物体的载物台面，其中，曝光装置能相对于载物台彼此相对运动，所提出的是：设置有包括至少一个边沿照明单元的边沿检测装置，该边沿照明单元在至少一部分物体边沿区域内具有照明区，在该照明区的内部，处于各自物体边沿区域内的物体边沿被从载物台的侧面呈面状发射的光加以照亮；以及与载物台面相距地，在物体的与载物台相对置的侧上，设置有至少一个边沿图像检测单元，该边沿图像检测单元将物体边沿的处于照明区内的边沿段作为边沿图像成像到图像面上；以及利用至少一个边沿图像检测单元可以位置精确地相对于载物台检测各边沿图像。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 设备 | ||
【主权项】：
用于板状物体(30)的加工设备，特别是用于板状物体(30)的曝光设备，所述加工设备具有曝光装置(40)和载物台(20)，所述载物台(20)具有用于容纳所述物体(30)的载物台面(22)，其中，所述曝光装置(40)和所述载物台(20)为曝光所述物体(30)而能彼此相对运动，其特征在于，为检测所述物体(30)在所述载物台(20)上的位置而设置有边沿检测装置(60)，所述边沿检测装置(60)包括至少一个在所述载物台(20)内设置于所述载物台面(22)下方的边沿照明单元(150)，所述边沿照明单元(150)在至少一部分物体边沿区域(62、64、66)内具有照明区(70、72、74)，在所述照明区(70、72、74)的内部，处于各自的所述物体边沿区域(62、64、66)内的物体边沿(52、54、56)被从载物台(20)的侧面以呈面状发射的光来照亮；以及与所述载物台面(22)相距地，在所述物体(30)的与所述载物台(20)相对置的侧上，设置有至少一个边沿图像检测单元(92、94)，所述至少一个边沿图像检测单元(92、94)将所述物体边沿(52、54、56)的处于所述照明区(70、72、74)内的边沿段(82、84、86)作为边沿图像(120)成像到图像面(116)上；以及利用所述至少一个边沿图像检测单元(92、94)能位置精确地相对于所述载物台(20)检测各自的所述边沿图像(120)。
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