[发明专利]用于选择性移除沉积膜的多孔剥离层

摘要

多孔剥离层帮助从诸如半导体的表面移除膜。在图案化的多孔层之上施加膜，该层包括典型地比膜厚度大的开孔。然后从不想要有膜的区域移除多孔材料和膜。该多孔层可提供为浆液，干燥该浆液以打开孔隙；或者提供为在一范围内当施加热或溶剂时便会解离的临时性颗粒。可以由蚀刻剂移除该膜，所述蚀刻剂通过孔隙进入膜未桥接起固体部分之间的空间的地方，因此蚀刻剂会侵蚀膜的两个表面。

主权项

一种只向光伏器件表面的特定区域提供膜的方法，该方法包括：a.提供表面；b.在该表面的不想要有膜的位置，提供多孔材料；c.在该表面上提供膜，包括已提供该多孔材料的位置和想要有膜的另一位置二者，该膜的厚度不大于该多孔材料的孔的大小；以及d.从该表面移除该多孔材料，并且移除任何已沉积在移除的多孔材料上的膜；藉此该光伏器件表面的已提供多孔材料的区域基本上没有该膜，而其它区域提供有该膜。