[发明专利]电磁场测量设备，用于该测量设备的电磁场测量方法以及存储电磁场测量控制程序的非瞬时性计算机可读介质

摘要

提供一种电磁场测量设备，用于以高灵敏度测量其中密集封装了电子器件的极小区域中的电磁场。在根据本发明的电磁场测量设备中，基于从计算控制单元(40)供应的振幅水平控制信号(eb)，通过调整检偏器(34)相对于信号光(pf)的偏振面的角度而由检偏器(34)调整信号光(pf)的振幅水平。基于由RF频谱分析器(39)测量的电信号(ed)的频谱(ea)将振幅水平控制信号(eb)从计算控制单元(40)供应到检偏器(34)。将包含在入射到光接收器(38)上的信号光(ph)中的载波和边带之间的振幅水平比控制为固定值。

主权项

一种电磁场测量设备，包括：激光源，所述激光源发射具有预定频率的激光束作为载波信号光；光调制装置，所述光调制装置用于通过在预定局部振荡频率调制所述载波信号光而产生调制光，并且发射所述调制光；特定的光学部件；电磁场传感器，所述电磁场传感器通过将经过所述光学部件入射的所述调制光暴露于由待测对象引起的射频频带的电磁场并且由此调制所述调制光而产生信号光，并发射所述信号光；光接收器，所述光接收器经过所述光学部件从所述电磁场传感器接收所述信号光并输出具有与所述电磁场相同的射频频带的电信号；频谱分析器，所述频谱分析器测量所述电信号的频谱；以及振幅水平比控制装置，所述振幅水平比控制装置用于基于由所述频谱分析器测量的所述电信号的频谱，将包含在入射到所述光接收器上的所述信号光中的载波和边带之间的振幅水平比控制为固定值。