[发明专利]基板收纳容器无效
| 申请号： | 201080030867.1 | 申请日： | 2010-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102473664A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 益子秀洋;三村博;小川统 | 申请（专利权）人： | 信越聚合物株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B65D85/86 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;杨楷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够降低吸湿性及水分透过性、抑制基板的有机污染的便宜的基板收纳容器。具备将多片半导体晶片整齐排列收纳的前开盒型的容器主体（1）、和经由密封用的衬垫拆装自如地嵌合在该容器主体（1）的开口的正面（6）上的盖体（20），将这些容器主体（1）和盖体（20）用含有吸水率为0.1%以下、在80℃下加热24小时而通过动态顶空法测量的总脱气量为15ppm以下的合成树脂的成形材料分别注射成形。使成形材料的合成树脂为从环烯聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择的至少一种、或者它们的合金树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 收纳 容器 | ||
【主权项】：
一种基板收纳容器，是具备收纳基板的容器主体、和经由衬垫拆装自如地嵌合在该容器主体的开口部上的盖体、将这些容器主体和盖体用含有吸水率为0.1%以下、在80℃下加热24小时而通过动态顶空法测量的总脱气量为15ppm以下的合成树脂的成形材料分别成形的基板收纳容器，其特征在于，使成形材料的合成树脂为从环烯聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择的至少一种、或者它们的合金树脂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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