[发明专利]扫描电子显微镜

摘要

本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。

主权项

一种扫描电子显微镜，包括电子光学柱镜筒架和试样室的扫描电子显微镜主体与该扫描电子显微镜主体的控制机构配置在同一机箱内，该扫描电子显微镜的特征在于，具备：配置在上述机箱、上述扫描电子显微镜主体及上述控制机构的下部的底板；设在上述底板的上述控制机构侧的底面上的第一支脚部；设在上述底板的上述扫描电子显微镜侧的开口；以及以固定在上述扫描电子显微镜主体的底面、并且贯通上述开口的方式配置的缓冲器。