[发明专利]图案形成装置、图案形成方法以及装置制造方法有效
| 申请号： | 201080031672.9 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102472977A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 木内彻;水谷英夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;陈炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过控制装置在Z轴方向上细微地驱动暂时支持片(S)的六个辅助片支持物(SH2)和(SH3)，以使得其支持表面定位在片支持物(SH1)的支持表面的略微较低侧(-Z侧)。因此，在宽度方向(Y轴方向)和长度方向上向片(S)施加适当的张力，以使得片(S)的中心部分固定到片支持物(SH1)的支持表面。即，在XY二维张力被施加到片(S)的分开区域(SAi)的状态下，与片(S)的分开区域(SAi)对应的后表面部分根据片支持物(SH1)的支持表面的平坦形状而改变。另外，在张力在长度方向和宽度方向上被施加到预定区域的状态下，与片材料(S)的预定区域对应的后表面部分根据平坦参考表面而改变以便平坦化。另外，用能量束照射平坦化的片材料的预定区域，以在其上形成图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 方法 以及 制造 | ||
【主权项】：
一种图案形成装置，用于在拉长片材料的预定区域中形成预定图案，所述图案形成装置包括：张力施加装置，将二维张力施加到包括所述片材料的所述预定区域的部分；吸附装置，包括具有平坦参考表面的参考表面构件，并且使得所述参考表面吸附与施加有所述二维张力的所述片材料的所述预定区域对应的后表面部分；以及照射装置，将对应于所述图案的能量束照射到吸附到所述参考表面的所述片材料的所述预定区域。
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