[发明专利]上游体积质量流量检验系统和方法有效
| 申请号： | 201080033129.2 | 申请日： | 2010-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN102483344A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 丁军华;K·扎尔卡 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开涉及用于测量和检验通过诸如质量流量控制器的质量流量传输/测量装置的质量流量的质量流量检验系统和方法。质量流量检验系统包括预设体积、温度传感器和压力传感器。由质量流量检验系统确定的测量的经检验的流量可调整成补偿由质量流量测量装置内的死体积导致的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 上游 体积 质量 流量 检验 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检测质量流量测量装置的性能的上游质量流量检验系统，所述系统包括：上游体积，能够存储检测流体；温度传感器，用于感测上游体积内的温度；压力传感器，用于感测上游体积内的流体压力；以及处理器，被配置成计算通过质量流量控制器的检测流体的流速，且补偿由质量流量控制器内的死体积导致的误差。
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