[发明专利]光学镜片用气相沉积装置无效
| 申请号： | 201080033202.6 | 申请日： | 2010-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102471870A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 足立诚;川俣和生;五十岚尚 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;梁韬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 用于光学镜片(3)的气相沉积装置包括镜片保持体(10)，镜片保持体(10)包括多个形成为比光学镜片(3)略大的镜片孔(24)。该装置还包括用于在镜片保持体的每个镜片孔内按压光学镜片的外周面的保持元件(26)。该装置还包括设置在限定每个镜片孔的内周面上的与保持元件相对的部分、并且承接光学镜片的外周面的镜片放置部(27a，27b)。保持光学镜片(3)所需的组件数量可被最小化。薄膜可形成在光学镜片(3)的整个光学表面上，光学表面被刮伤的可能性很小。粘附并沉积在保持元件(26)上的气相沉积物质不太可能脱落并粘附到光学镜片(3)的光学表面上。气相沉积物质蒸发产生的微粒不太可能穿过每个镜片孔(24)和光学镜片(3)之间的间隙而进入光学镜片(3)上面的部分，因此很难发生气相沉积缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 光学镜片 用气相 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种光学镜片用气相沉积装置，包括：真空室，容纳气相沉积物质和光学镜片；旋转体，设置在所述真空室中的上侧并由驱动装置旋转；镜片保持体，包括多个形成为比光学镜片略大的镜片孔并可拆卸地安装在所述旋转体上；保持元件，用于在所述镜片保持体的各个镜片孔内按压光学镜片的外周面；镜片放置部，设置在限定各个镜片孔的内周面上的与所述保持元件相对的部分、并且在相反地按压光学镜片下承接由所述保持元件按压的光学镜片的外周面；以及加热元件，设置在所述真空室中的下侧，加热并蒸发气相沉积物质。
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