[发明专利]用于无孔隙亚微观特征填充的包含抑制剂的金属电镀组合物有效
| 申请号： | 201080033648.9 | 申请日： | 2010-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102471910A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | C·勒格尔-格普费特;R·B·雷特尔;D·迈耶;A·哈格;C·埃姆内特 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;H01L21/288;H01L21/768;C25D3/02;C25D3/40 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 唐秀玲;刘金辉 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种组合物，其包含至少一种金属离子来源和至少一种添加剂，添加剂可通过使包含至少5个羟基官能团的多元醇与来自第一烯化氧和第二烯化氧的混合物的至少第一烯化氧和第二烯化氧或者第三烯化氧、第二烯化氧和第一烯化氧以上述顺序反应得到，其中第三烯化氧具有比第二烯化氧更长的烷基链，第二烯化氧具有比第一烯化氧更长的烷基链。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 孔隙 微观 特征 填充 包含 抑制剂 金属 电镀 组合 | ||
【主权项】：
一种包含至少一种金属离子来源和至少一种添加剂的组合物，所述添加剂可通过使a)包含至少5个羟基官能团的多元醇，与b)来自第一烯化氧和第二烯化氧的混合物的至少第一烯化氧和第二烯化氧反应得到。
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