[发明专利]具有微机械的麦克风结构的构件以及制造这种构件的方法有效
| 申请号： | 201080034137.9 | 申请日： | 2010-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN102474693A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出了一些措施，通过所述措施以简单的方式改进了具有实现为衬底(1)上方的层结构(20)的微机械的麦克风结构的构件(10)的声学特性并且也简化了制造方法。这种构件(10)的麦克风结构包括：可通过声压偏转的膜片(11)，所述膜片覆盖所述构件背侧中的、用作背侧容积的空腔(13)；固定的、可透声的配合元件(12)，所述配合元件设置在所述膜片(11)上方。根据本发明，所述层结构(20)在所述膜片(11)与所述衬底(1)之间包括镶边层(3)，在所述镶边层(3)中构造有声学透明的孔隙(4)。所述膜片(11)通过所述孔隙与所述背侧容积(13)衔接，并且所述背侧容积(13)在所述镶边层(3)下方在侧向上延伸超过所述孔隙(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微机 麦克风 结构 构件 以及 制造 这种 方法 | ||
【主权项】：
具有微机械的麦克风结构的构件(10)，所述麦克风结构实现为衬底(1)上方的层结构(20)，其中，所述麦克风结构至少包括：可通过声压偏转的膜片(11)，所述膜片覆盖所述构件背侧中的、用作背侧容积的空腔(13)，和固定的、可透声的配合元件(12)，所述配合元件设置在所述膜片(11)上方；其特征在于，所述层结构(20)在所述膜片(11)与所述衬底(1)之间包括至少一个镶边层(3)，在所述镶边层(3)中构造有声学透明的孔隙(4)，所述膜片(11)通过所述孔隙与所述背侧容积(13)衔接，并且所述背侧容积(13)在所述镶边层(3)下方在侧向上延伸超过所述孔隙(4)。
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